BS ISO 14706:2014
表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定
Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
- 标准号
- BS ISO 14706:2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS ISO 14706:2014
- 引用标准
- ISO 14644-1 ISO 5725-2:1994
- 被代替标准
- BS ISO 14706:2000
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