KS D 0258-2012
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

Test methods of crystalline defects in silicon by preferential etch techniques

被代替

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标准号

KS D 0258-2012

发布

2012年

发布单位

韩国科技标准局

替代标准

KS D 0258-2012(2017)

当前最新

KS D 0258-2012(2022)

 

 

被代替标准

KS D 0258-2002

适用范围

이 표준은 실리콘 웨이퍼의 결정 결함을 육가 크로뮴을 포함하지 않은 선택 에칭액에 의해 검

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