KS L 1619-2013
电传导陶器薄膜电阻率测定方法.4点探针法

Testing methods for resistivity of conductive fine ceramic thin films with four point probe array

作废

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标准号

KS L 1619-2013

发布

2013年

发布单位

韩国科技标准局

替代标准

KS L 1619-2013(2018)

当前最新

KS L 1619-2013(2023)

 

 

被代替标准

KS L 1619-2003

适用范围

이 표준은 파인 세라믹 박막의 저항률을 4탐침법에 의해 시험하는 방법에 관하여 규정한다. 적용 가능한 저항률의 범위는 1×10-5 Ωcm∼2×102 Ωcm로 하며, 막의 두께는 500 μm 이하로 한다.

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