GB/T 11068-1989
砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

Gallium arsenide epitaxial layer--Determination of carrier concentration--Voltage-capacitance method

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标准号

GB/T 11068-1989

发布日期

1989年03月31日

实施日期

1990年02月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

71.060.50

发布单位

CN-GB

代替标准

GB/T 11068-2006

适用范围

本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压法的测量方法。 本标准适用于砷化镓外延层及体材料中载流子浓度的测量。测量范围：1×10¹⁴～5×10¹⁷cm^-3。

GB/T 11068-1989系列标准