GB/T 14602-2014
电子工业用气体 氯化氢

Gases for electronic industry.Hydrogen chloride

GBT14602-2014, GB14602-2014


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GB/T 14602-2014

标准号
GB/T 14602-2014
别名
GBT14602-2014
GB14602-2014
发布
2014年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 14602-2014
 
 
引用标准
GB 14193 GB 15258 GB 16804 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 26571 GB/T 28726-2012 GB/T 3723 GB/T 5832.3 危险化学品安全管理条例(2002版) 气瓶安全监察规程(2000版) 特种设备安全监察条例(2009版)
被代替标准
GB/T 14602-1993 GB/T 24469-2009
本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料,采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式:HCl。相对分子质量:36.458(按2009年国际相对原子质量计算)。

GB/T 14602-2014相似标准


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GB/T 14602-2014 中可能用到的仪器设备





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