ASTM D5127-99
电子学和半导体工业用超纯水的标准指南

Standard Guide for Ultra Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industry


 

 

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标准号
ASTM D5127-99
发布
1999年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM D5127-07
当前最新
ASTM D5127-13(2018)
 
 
适用范围
1.1 本指南涵盖了适用于电子和微电子行业的水纯度建议，例如在清洁和蚀刻操作中清洗和漂洗半导体元件、制造蒸汽以氧化硅表面、光掩模制备、发光材料沉积以及与固态、薄膜、通信激光器、发光二极管、光电探测器、印刷电路、存储器、真空管或电解装置的开发和制造相关的类似应用。
1.2 以 SI 单位表示的值应被视为标准值。括号中给出的英寸-磅单位仅供参考。
1.3 本标准无意解决与其使用相关的安全问题。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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ASTM D5127-99 中可能用到的仪器设备

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