YS/T 1025-2015
电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

High-purity tungsten and tungsten alloy sputtering target used in electronic film

YST1025-2015, YS1025-2015


YS/T 1025-2015 中,可能用到以下仪器设备

 

 SBC-2型试样表面处理机/镀膜机

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北京中科科仪技术发展有限责任公司

 

SBC-12小型离子溅射仪

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北京中科科仪技术发展有限责任公司

 

GVC-1000小型离子溅射仪

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北京中科科仪技术发展有限责任公司

 

磁控溅射卷绕镀膜机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

温度测试贴

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牛津仪器(上海)有限公司

 

编码器芯片AM4096

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雷尼绍(上海)贸易有限公司

 

编码器模块RMB28

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雷尼绍(上海)贸易有限公司

 

编码器RM44

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雷尼绍(上海)贸易有限公司

 

Eppendorf 细胞培养板

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艾本德中国有限公司(Eppendorf)

 

Eppendorf 细胞培养瓶

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艾本德中国有限公司(Eppendorf)

 

创新型分离度测试仪

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麦克默瑞提克(上海)仪器有限公司

 

肥料颗粒粉化率测定仪

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山东盛泰仪器有限公司

 

绝缘油带电倾向性测定仪

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山东盛泰仪器有限公司

 

自动苯胺点测定仪SD262B

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山东盛泰仪器有限公司

 

灼热丝试验仪

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上海和晟仪器科技有限公司

 

针焰试验仪

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上海和晟仪器科技有限公司

 

亚20飞秒激光脉冲靶基因转移系统

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北京欧兰科技发展有限公司

 

4面精密微米级制膜器

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

 靶头

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

 真空腔体

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

ZJ-12真空规

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

ZJ-10B真空规

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

程控垂直提拉机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

红外加热喷雾旋转涂膜机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

振动样品台

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

金相研究成套设备-简便系列

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

金相研究成套设备-经济系列

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

金相研究成套设备-中级系列

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

金相研究成套设备-高级系列

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

金相研究成套设备-实用系列

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

掩膜版

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

膜厚监测仪

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手动液压纽扣电池拆卸机

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CM100膜厚仪

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桌面式通风柜

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  水分仪

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微型管式炉

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ZG型微波管式炉

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FY型微波反应器

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4

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1000℃卧式马弗炉

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真空感应熔炼炉-16V

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标准号
YS/T 1025-2015
别名
YST1025-2015
YS1025-2015
发布
2015年
发布单位
行业标准-有色金属
当前最新
YS/T 1025-2015
 
 
本标准规定了电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)等内容。 本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材,以下简称高纯钨及钨合金靶。

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