SJ/T 11494-2015
硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法
Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities
SJ/T 11494-2015 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- SJ/T 11494-2015
- 发布日期
- 2015年04月30日
- 实施日期
- 2015年10月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-SJ
- 引用标准
- GB/T 13389 GB/T 24581
- 适用范围
- 本标准规定了硅单晶中硼、磷杂质的光致发光测试方法。本标准适用于低位错密度(< 500个/cm2)硅单晶中导电性杂质硼、磷含量的测定,同时也适用于检测硅单晶中含量为1×1011 at • cm-3~5×1015 at·cm-3的各种电活性杂质。