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电子探针全称电子探针X 射线显微分析仪,又称微区X射线光谱分析仪,是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器,英文简称为EPMA。 可用来分析薄片中矿物微区的化学组成,分析对象是固体物质表面细小颗粒或微小区域,最小范围直径为1μm。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外,还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。 ...
X 射线荧光光谱分析不仅成为对物质的化学元素、物证材料进行测试,对产品和材料质量进行无损检测,对人体进行医检和微电路的光刻检验等的重要分析手段,也是材料科学、生命科学、环境科学等普遍采用的一种快速、准确而又经济的多元素分析方法。 能量色散X 射线荧光光谱仪根据各种元素特征X 荧光光谱线的能量强度进行元素的定性和定量分析。...
为了能得到较大的峰背比,并不希望把E0提的很高。同时随着E0的增加,电子穿透深度迅速的增加,X射线在试样中穿行的时间更长,吸收修正也就增加,这些都是定量分析所不希望的。因此通常将过压比U=E0/Ec控制在2~3范围内。对于原子序数小于10的轻元素,通常选用10kV,对于原子序数为11~30的元素,选用15~20kV,对于原子序数大于30的元素,则选用20~25kV(表89.4,表89.5)。...
扫描电镜中采用的信号往往不是单次散射所得,而是电子经过多次散射以及能量损失后的总效应。扫描电镜主要用二次电子和背散射电子进行试样的观察。能谱仪或波谱仪的成分分析是利用非弹性散射产生的特征X射线能量和强度进行定性、定量分析。晶体的弹性散射还会产生与晶体结构有关的布拉格衍射,可以获得晶体结构信息。一个入射电子可以产生多个二次电子,产生的二次电子和背散射电子,以及俄歇电子的强度及能量分布如图2-3。...
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