GB/T 14144-1993
硅晶体中间隙氧含量经向变化测量方法
Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
GB/T 14144-1993 发布历史
本标准规定了硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量。测量范围为3.5×1015at·cm3至间隙氧在硅中的最大固溶度。
GB/T 14144-1993由国家质检总局 CN-GB 发布于 1993-02-06，并于 1993-10-01 实施，于 2010-06-01 废止。
GB/T 14144-1993 在中国标准分类中归属于: H26 金属无损检验方法。
GB/T 14144-1993的历代版本如下：
- 1993年02月06日 GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量经向变化测量方法
- 2009年10月30日 GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量经向变化测量方法 于 2009-10-30 变更为 GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法。
- 标准号
- GB/T 14144-1993
- 发布日期
- 1993年02月06日
- 实施日期
- 1993年10月01日
- 废止日期
- 2010-06-01
- 中国标准分类号
- H26
- 国际标准分类号
- 29.040.30
- 发布单位
- CN-GB
- 代替标准
- GB/T 14144-2009
- 适用范围
- 本标准规定了硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量。测量范围为3.5×1015at·cm3至间隙氧在硅中的最大固溶度。