GB/T 14144-1993
硅晶体中间隙氧含量经向变化测量方法

Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon

GBT14144-1993, GB14144-1993

2010-06

标准号
GB/T 14144-1993
别名
GBT14144-1993, GB14144-1993
发布
1993年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 14144-2009
当前最新
GB/T 14144-2009
 
 
适用范围
本标准规定了硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量。测量范围为3.5×1015at·cm3至间隙氧在硅中的最大固溶度。

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