NF3:是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,是半导体工业用含氟清洗气体,同时也是是半导体与LCD产业制造过程中必备的材料。随着NF3替代PFCs或SF6应用于工业生产,其排放量显著增加,大气浓度以约12 %的年增速快速累积。...
随着时代的发展,气体工业对高纯气、电子气等特种气体的需求也与日俱增,气体中微量、痕量杂质的检测是生产高纯气体和电子工业用气的关键环节,原有的热导等检测器均难以适应当前气体分析的需要。脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)有效填补了这一领域的空白,作为一种通用型检测器其灵敏度极高,对绝大多数无机和有机化合物均有很高的响应,特别适合高纯气体的分析,是能够检测至ng/g(ppb)级的检测器。...
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