GB/T 14600-1993
电子工业用气体 氧化亚氮

Gases for electronic industry. Nitrous oxide

GBT14600-1993, GB14600-1993

2010-05

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GB/T 14600-1993

标准号
GB/T 14600-1993
别名
GBT14600-1993
GB14600-1993
发布
1993年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 14600-2009
当前最新
GB/T 14600-2009
 
 
本标准规定了电子工业用气体--瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、验收规则及包装、标志、贮存与运输要求。 本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。 分子式:N2O 相对分子质量:44.01(按1989年国际相对原子质量)

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