GB/T 14600-1993
电子工业用气体 氧化亚氮
Gases for electronic industry. Nitrous oxide
GBT14600-1993, GB14600-1993
2010-05
GB/T 14600-1993 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- GB/T 14600-1993
- 别名
- GBT14600-1993
GB14600-1993 - 发布
- 1993年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 14600-2009
- 当前最新
- GB/T 14600-2009
- 本标准规定了电子工业用气体--瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、验收规则及包装、标志、贮存与运输要求。 本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。 分子式：N2O 相对分子质量：44.01（按1989年国际相对原子质量）
GB/T 14600-1993相似标准
推荐
热点新闻 | 助力实现双碳目标，SGS温室气体监测方案已就位
NF3：是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，是半导体工业用含氟清洗气体，同时也是是半导体与LCD产业制造过程中必备的材料。随着NF3替代PFCs或SF6应用于工业生产，其排放量显著增加，大气浓度以约12 %的年增速快速累积。...
PDHID色谱仪产品应用概述
随着时代的发展，气体工业对高纯气、电子气等特种气体的需求也与日俱增，气体中微量、痕量杂质的检测是生产高纯气体和电子工业用气的关键环节，原有的热导等检测器均难以适应当前气体分析的需要。脉冲放电氦离子化检测器（PDHID）有效填补了这一领域的空白，作为一种通用型检测器其灵敏度极高，对绝大多数无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合高纯气体的分析，是能够检测至ng/g（ppb）级的检测器。...