半导体材料 检测

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国际标准分类中，半导体材料 检测涉及到半导体材料。

在中国标准分类中，半导体材料 检测涉及到元素半导体材料。

德国标准化学会，关于半导体材料 检测的标准

• DIN 50443-1-1988 半导体工艺使用材料的检验.第1部分:用X射线外形测量法检测半导体单晶硅中晶体缺陷和不均匀性

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