薄膜结构测试

本专题涉及薄膜结构测试的标准有6条。

国际标准分类中，薄膜结构测试涉及到半导体分立器件、电子电信设备用机电元件、集成电路、微电子学。

在中国标准分类中，薄膜结构测试涉及到其他、半导体分立器件综合。

日本工业标准调查会，关于薄膜结构测试的标准

• JIS C5630-12-2014 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法
• JIS C5630-12-2014 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法

法国标准化协会，关于薄膜结构测试的标准

• NF C96-050-12-2012 半导体器件 - 微型机电装置 - 第12部分: 使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法.

德国标准化学会，关于薄膜结构测试的标准

• DIN EN 62047-12-2012 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC 62047-12-2011).德文版本EN 62047-12-2011

国际电工委员会，关于薄膜结构测试的标准

• IEC 62047-12-2011 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法
• IEC 60748-23-2:2002 半导体器件 - 集成电路 - 第23-2部分:混合集成电路和薄膜结构 - 制造线认证 - 内部目视检查和特殊测试

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