半导体 材料 密度

本专题涉及半导体 材料 密度的标准有3条。

国际标准分类中，半导体 材料 密度涉及到半导体材料。

在中国标准分类中，半导体 材料 密度涉及到半导体分立器件综合、化合物半导体材料。

德国标准化学会，关于半导体 材料 密度的标准

• DIN 50446-1995 半导体工艺材料的检验.硅晶体外延层缺陷种类和缺陷密度的测定
• DIN 50454-3-1994 半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第3部分:镓磷化物
• DIN 50454-2-1994 半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第2部分:铟磷化物

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