半导体 材料 掺杂

本专题涉及半导体 材料 掺杂的标准有4条。

国际标准分类中，半导体 材料 掺杂涉及到化工产品、半导体材料。

在中国标准分类中，半导体 材料 掺杂涉及到工业气体与化学气体、元素半导体材料。

德国标准化学会，关于半导体 材料 掺杂的标准

• DIN 50450-9-2003 半导体工艺材料测试.载气和掺杂气体杂质测定.第9部分:用气相色谱法测定气态氯化氢中氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、氢和C<下标1>-C<下标3>-烃类含量
• DIN 50450-4-1993 半导体工艺材料的检验.运载气体和掺杂剂气体中杂质的测定.用气相色谱法测定氮气中C1－C3烃类化合物
• DIN 50445-1992 半导体工艺材料检验.用涡流法无接触测定电阻率.均匀掺杂半导体片
• DIN 50439-1982 半导体技术材料的试验.用电容--电压法和水银接点确定单晶层半导体材料中掺杂剂的浓度分布曲线

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