红外 硅氧硅

本专题涉及红外 硅氧硅的标准有8条。

国际标准分类中,红外 硅氧硅涉及到半导体材料、金属材料试验。

在中国标准分类中,红外 硅氧硅涉及到元素半导体材料、半金属及半导体材料分析方法、金属物理性能试验方法。


国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会,关于红外 硅氧硅的标准

  • GB/T 40561-2021 光伏硅材料 氧含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
  • GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
  • GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

国家质检总局,关于红外 硅氧硅的标准

行业标准-电子,关于红外 硅氧硅的标准

  • SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
  • SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

德国标准化学会,关于红外 硅氧硅的标准

  • DIN 50438-1-1995 半导体工艺材料检验.用红外吸收法测量硅的杂质含量.第1部分:氧

红外 硅氧硅硅氧硅+红外硅氧硅 红外硅氧硅 红外 峰红外 硅氧硅 峰硅氧硅 红外 吸收硅氧硅 红外峰硅氧硅 红外 吸收峰硅氧 红外硅氧+红外红外+硅氧红外 硅氧硅氧硅红外+ 硅硅+红外硅 红外硅+ 红外硅氧 红外 吸收硅氧硅 峰硅氧硅红外

 

可能用到的仪器设备

 

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