接触式薄膜探针

本专题涉及接触式薄膜探针的标准有6条。

国际标准分类中，接触式薄膜探针涉及到半导体材料、电子显示器件、金属材料试验、陶瓷。

在中国标准分类中，接触式薄膜探针涉及到特种陶瓷。

，关于接触式薄膜探针的标准

• KS L 1619-2013(2018) 四探针阵列导电陶瓷薄膜电阻率测试方法

美国材料与试验协会，关于接触式薄膜探针的标准

• ASTM F1711-96(2002) 用四点探针测量平板显示器制造用薄膜导体片电阻的标准实施规程
• ASTM F390-98 具有共线四探针阵列的金属薄膜的片电阻的标准试验方法
• ASTM F390-98(2003) 具有共线四探针阵列的金属薄膜的片电阻的标准试验方法
• ASTM F1711-96 用四点探针测量平板显示器制造用薄膜导体片电阻的标准实施规程

日本工业标准调查会，关于接触式薄膜探针的标准

• JIS R1637-1998 用四点探针排列法测定传导精细陶瓷薄膜电阻率的试验方法

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