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晶圆 度

本专题涉及晶圆 度的标准有12条。

国际标准分类中,晶圆 度涉及到半导体分立器件、电子电信设备用机电元件、长度和角度测量、集成电路、微电子学。

在中国标准分类中,晶圆 度涉及到半导体分立器件综合、、微电路综合、半导体集成电路。


英国标准学会,关于晶圆 度的标准

  • BS EN 62047-9:2011 半导体装置.微电子机械装置.MEMS的晶圆与晶圆结合强度测量
  • BS EN 62047-9:2013 半导体装置 微电子机械装置 MEMS的晶圆与晶圆结合强度测量
  • BS EN 62047-9:2011(2012) 半导体器件 — 微机电器件 第9部分:MEMS 晶圆间键合强度测量

河北省标准,关于晶圆 度的标准

国家质检总局,关于晶圆 度的标准

  • GB/T 41853-2022 半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量

德国标准化学会,关于晶圆 度的标准

ES-UNE,关于晶圆 度的标准

  • UNE-EN 62047-9:2011 半导体器件 微机电器件 第9部分:MEMS 晶圆间键合强度测量

GSO,关于晶圆 度的标准

丹麦标准化协会,关于晶圆 度的标准

  • DS/EN 62047-9:2011 半导体设备 微机电设备 第9部分:MEMS 的晶圆间键合强度测量

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会,关于晶圆 度的标准

  • GB/T 33657-2017 纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范

(美国)固态技术协会,隶属EIA,关于晶圆 度的标准

立陶宛标准局,关于晶圆 度的标准

  • LST EN 62047-9-2011 半导体器件 微机电器件 第9部分:MEMS 晶圆间键合强度测量(IEC 62047-9:2011)

晶圆 度晶圆硅晶圆级晶圆晶圆级晶圆 键晶度晶晶度晶圆键合圆度球度圆度 圆柱度圆度 圆柱 度同心度 圆度圆度应用纱线圆度圆度饮金属 圆度圆度标准圆度 倾斜烟囱圆度

 

可能用到的仪器设备

 

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