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x射线半导体检测

本专题涉及x射线半导体检测的标准有3条。

国际标准分类中，x射线半导体检测涉及到半导体材料、核能工程。

在中国标准分类中，x射线半导体检测涉及到元素半导体材料、核仪器与核探测器综合。

SE-SIS，关于x射线半导体检测的标准

• SIS SS IEC 759:1986 核检测仪表．半导体X射线能谱仪检测程序

德国标准化学会，关于x射线半导体检测的标准

• DIN 50443-1:1988 半导体工艺使用材料的检验.第1部分:用X射线外形测量法检测半导体单晶硅中晶体缺陷和不均匀性

国家质检总局，关于x射线半导体检测的标准

• GB/T 11685-2003 半导体X射线探测器系统和半导体X射线能谱仪的测量方法

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