薄膜应力 测量

本专题涉及薄膜应力 测量的标准有2条。

国际标准分类中，薄膜应力 测量涉及到摄影技术。

在中国标准分类中，薄膜应力 测量涉及到物质成份分析仪器与环境监测仪器综合。

美国材料与试验协会，关于薄膜应力 测量的标准

• ASTM E2245-05 用光学干涉仪测量反射薄膜残余应力的标准试验方法
• ASTM E2245-02 用光学干涉仪测量反射薄膜残余应力的标准试验方法

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