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集成电路工艺
本专题涉及集成电路工艺的标准有4条。
国际标准分类中，集成电路工艺涉及到。
在中国标准分类中，集成电路工艺涉及到加工专用设备、电子技术专用材料。
IEEE - The Institute of Electrical and Electronics Engineers@ Inc.，关于集成电路工艺的标准
- IEEE 1181-1991 CMOS 和 BiCMOS 集成电路工艺表征的闩锁测试方法的推荐实践
美国电气电子工程师学会，关于集成电路工艺的标准
- IEEE Std 1181-1991 CMOS 和 BiCMOS 集成电路工艺特性的闩锁测试方法的 IEEE 推荐规程
行业标准-电子，关于集成电路工艺的标准
- SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语
国家质检总局，关于集成电路工艺的标准
- GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
