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Ionensputtern

Für die Ionensputtern gibt es insgesamt 7 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Ionensputtern die folgenden Kategorien: Vakuumtechnik, Pumpe, Fluidsysteme und allgemeine Teile.

RU-GOST R, Ionensputtern

• GOST 5.1807-1973 Getter-Ionenpumpe vom Typ GIN-0,5-1M. Qualitätsanforderungen an zertifizierte Produkte
• GOST 5.413-1970 Die matergekühlte Dioden-Sputter-Ionenpumpe NMDI-01-1 (NIRD-100) mit dem Netzteil BP-150. Qualitätsanforderungen an zertifizierte Produkte

Professional Standard - Electron, Ionensputtern

• SJ 1781-1981 Sputter-Ionenpumpe – Testmethoden

Professional Standard - Machinery, Ionensputtern

• JB/T 4081-2011 Vakuumtechnik – Sputter-Ionenpumpe
• JB/T 4082-1991 Technische Bedingungen der Sputter-Ionenpumpe
• JB/T 2965-1992 Leistungstestmethode der Sputter-Ionenpumpe
• JB/T 4081-1991 Typ und grundlegende Parameter der Sputter-Ionenpumpe

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