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Kleines Ionensputtergerät

Für die Kleines Ionensputtergerät gibt es insgesamt 5 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Kleines Ionensputtergerät die folgenden Kategorien: Fluidsysteme und allgemeine Teile, Vakuumtechnik, Pumpe.

Professional Standard - Machinery, Kleines Ionensputtergerät

• JB/T 4081-1991 Typ und grundlegende Parameter der Sputter-Ionenpumpe

Professional Standard - Electron, Kleines Ionensputtergerät

• SJ 1779-1981 Gewöhnliche Zwei-Elektroden-Sputter-Ionenpumpe – Parameterreihe
• SJ 1780-1981 Gewöhnliche Zwei-Elektroden-Sputter-Ionenpumpe – Leistungsspezifikation

RU-GOST R, Kleines Ionensputtergerät

• GOST 5.1807-1973 Getter-Ionenpumpe vom Typ GIN-0,5-1M. Qualitätsanforderungen an zertifizierte Produkte
• GOST 5.413-1970 Die matergekühlte Dioden-Sputter-Ionenpumpe NMDI-01-1 (NIRD-100) mit dem Netzteil BP-150. Qualitätsanforderungen an zertifizierte Produkte

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