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シリコンウェーハ

シリコンウェーハは全部で 219 項標準に関連している。

シリコンウェーハ 国際標準分類において、これらの分類：太陽工学、 半導体材料、 バッテリーと蓄電池、 非鉄金属、 絶縁流体、 金属材料試験、 工作機械設備、 鉄鋼製品、 切削工具、 ガラス、 集積回路、マイクロエレクトロニクス、 語彙、 電子および通信機器用の電気機械部品、 無駄、 半導体ディスクリートデバイス、 断熱材、 シール、密封装置、 エネルギー・伝熱工学総合、 一般、用語、標準化、ドキュメント、 電気、磁気、電気および磁気測定、 電気機器部品、 長さと角度の測定、 農業機械、工具、設備、 内燃エンジン、 周波数制御と選択のための圧電および誘電デバイス、 整流器、コンバータ、安定化電源、 オーディオ、ビデオ、およびオーディオビジュアル エンジニアリング、 データストレージデバイス、 分析化学、 警報および警告システム、 換気扇、扇風機、エアコン。

German Institute for Standardization, シリコンウェーハ

• DIN V VDE V 0126-18-2-1:2007 ソーラーシリコンウェーハ パート 2-1: シリコンウェーハの幾何学的寸法の測定 シリコンウェーハの厚さ
• DIN V VDE V 0126-18-3:2007 ソーラーシリコンウェーハ パート 3: 結晶シリコンウェーハのアルカリ腐食損傷 単結晶および多結晶シリコンウェーハの腐食速度の測定方法。
• DIN V VDE V 0126-18-5:2007 ソーラーシリコンウェーハ パート 5: シリコンウェーハの抵抗測定手順
• DIN V VDE V 0126-18-2-2:2007 ソーラーシリコンウェーハ パート 2-2: シリコンウェーハの幾何学的寸法の測定 厚さの変化
• DIN V VDE V 0126-18-2-3:2007 ソーラーシリコンウェーハ パート 2-3: シリコンウェーハの幾何学的寸法の測定 波形と歪み。
• DIN EN 50513:2009 ソーラーシリコンウェーハ：太陽電池の製造に使用される結晶シリコンウェーハのデータシートと製品情報
• DIN V VDE V 0126-18-2-4:2007 ソーラーシリコンウェーハ パート 2-4: シリコンウェーハの幾何学的寸法の測定 ソーマークとステップソーマーク
• DIN V VDE V 0126-18-4-1:2007 ソーラーシリコンウェーハ その4-1：シリコンウェーハの電気的特性の測定手順 オンライン測定法による少数キャリア寿命の決定
• DIN EN 62047-9:2012 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 9: 微小電気機械システム シリコン ウェーハのシリコン ウェーハ接合強度試験 (IEC 62047-9-2011)、ドイツ語版 EN 62047-9-2011
• DIN 50435:1988 半導体材料試験: 4 プローブ/DC 法を使用して、シリコン ウェーハおよびゲルマニウム ウェーハの抵抗率の半径方向の変化を測定します。
• DIN V VDE V 0126-18-4-2:2007 ソーラーシリコンウェーハ パート 4-2: シリコンの電気的特性を測定する手順 少数キャリア寿命を決定するための実験室測定

Professional Standard - Non-ferrous Metal, シリコンウェーハ

• YS/T 28-2015 シリコンウェーハのパッケージング
• YS/T 28-1992 シリコンウェーハのパッケージング
• YS/T 26-1992 シリコンウェーハエッジ輪郭検査方法

Group Standards of the People's Republic of China, シリコンウェーハ

• T/CNIA 0174-2022 シリコンウェーハ切断廃棄物リサイクルシリコン
• T/CPIA 0037-2022 太陽電池用結晶シリコンウェーハの仕様
• T/SZBX 118-2023 太陽電池用単結晶シリコンウェーハ
• T/CAMS 179-2023 シリコンウェーハスライス機用高速・高精度スピンドル
• T/ZZB 0594-2018 シリコンウェーハ用電着ダイヤモンド切断ワイヤー
• T/CEC 290-2019 バックコンタクト単結晶シリコンウェーハの技術要件
• T/SHDSGY 135-2023 新エネルギー半導体シリコンウェーハ材料技術
• T/QGCML 2024-2023 ガリウムドープシリコンウェーハ技術の生産管理対策
• T/CPIA 0038-2022 太陽光発電シリコンウェーハ切断用の電気めっきダイヤモンドワイヤ
• T/ZPP 016-2022 太陽電池シリコンウェーハの脱ガムと挿入の統合に関する技術要件
• T/SHDSGY 160-2022 非接触シリコンウェーハ搬送装置の技術仕様
• T/CPIA 0022-2020 太陽光発電シリコンウェーハ製造業界のグリーンファクトリー評価要件
• T/CPIA 0021-2020 グリーンデザイン製品評価用太陽電池シリコンウェーハの技術仕様
• T/CECA 39-2020 変圧器用珪素鋼板
• T/SAAMM 1016-2023 ドリッパー用圧力補償シリコンシート
• T/QGCML 947-2023 サーマルシリコンガスケット

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, シリコンウェーハ

• GB/T 14140-2009 シリコンウェーハの直径測定方法
• GB/T 6619-1995 シリコンウェーハの曲げ試験方法
• GB/T 6619-2009 シリコンウェーハの曲げ試験方法
• GB/T 29055-2012 太陽電池用多結晶シリコンウェーハ
• GB/T 15615-1995 シリコンウェーハの曲げ強度試験方法
• GB/T 26067-2010 シリコンウェーハのカットサイズ試験方法
• GB/T 32279-2015 シリコンウェーハオーダーフォーム入力仕様書
• GB/T 6621-2009 シリコンウェーハの表面平坦性試験方法
• GB/T 29055-2019(英文版) 太陽電池用多結晶シリコンウェーハ
• GB/T 14140.2-1993 シリコンウェーハ直径測定法 マイクロメーター法
• GB/T 42789-2023 シリコンウェーハの表面光沢度の試験方法
• GB/T 14140.1-1993 シリコンウェーハ径測定法 光学投影法
• GB/T 6620-1995 シリコンウェーハの反りの非接触検査方法
• GB/T 6620-2009 シリコンウェーハの反りの非接触検査方法
• GB/T 6617-1995 拡張抵抗プローブ法によるシリコンウェーハの抵抗率測定
• GB/T 6618-1995 シリコンウェーハの厚みと総厚みばらつき試験方法
• GB/T 11073-2007 シリコンウェーハの面内抵抗率変化の測定方法
• GB/T 6617-2009 拡張抵抗プローブ法によるシリコンウェーハの抵抗率測定
• GB/T 6618-2009 シリコンウェーハの厚みと総厚みばらつき試験方法
• GB/T 43315-2023 シリコンウェーハのフローパターン欠陥を検出するための腐食方法
• GB/T 32280-2015 シリコンウェーハの反り検査のための自動非接触スキャン法
• GB/T 29505-2013 シリコンウェーハの平面の表面粗さ測定方法
• GB/T 32814-2016 シリコンベースのMEMS製造技術 SOIシリコンウェーハに基づくMEMSプロセス仕様
• GB/T 19922-2005 シリコンウェーハの局所平坦度を非接触で測定する標準検査方法
• GB/T 13388-2009 シリコンウェーハ基準面の結晶方位X線検査方法
• GB/T 14143-1993 300～900μmシリコンウェーハギャップ中の酸素含有量の赤外吸収測定法
• GB/T 13388-1992 シリコンウェーハ基準面の結晶方位のX線測定方法
• GB/T 14139-1993 シリコンエピタキシャルウェーハ
• GB/T 14139-2009 シリコンエピタキシャルウェーハ
• GB/T 19444-2004 シリコンウェーハの酸素析出特性の測定 - 格子間酸素含有量低減法
• GB/T 32281-2015 二次イオン質量分析によるソーラーグレードシリコンウェーハおよび材料中の酸素、炭素、ホウ素、リンの測定
• GB/T 6616-1995 半導体シリコンウェーハの抵抗率とシリコン薄膜のシート抵抗を測定するための非接触渦電流法
• GB/T 30859-2014 太陽電池用シリコンウェーハの反り・うねり試験方法
• GB/T 30869-2014 太陽電池用シリコンウェーハの厚みおよび総厚みばらつきの試験方法
• GB/T 24577-2009 昇温脱離ガスクロマトグラフィーによるシリコンウェーハ表面の有機汚染物質の定量
• GB/T 26068-2018 シリコンウェーハ、シリコンインゴットのキャリア再結合寿命試験 非接触マイクロ波反射光伝導減衰法
• GB/T 6616-2009 半導体シリコンウェーハ抵抗率およびシリコン薄膜シート抵抗試験方法 非接触渦電流法
• GB/T 30860-2014 太陽電池用シリコンウェーハの表面粗さと切断線跡の検査方法
• GB/T 24578-2015 全反射蛍光X線分光法によるシリコンウェーハ表面の金属汚染検査方法
• GB/T 24578-2009 全反射蛍光X線分光法によるシリコンウェーハ表面の金属汚染検査方法
• GB/T 26069-2010 シリコンアニールウェーハの仕様
• GB/T 29507-2013 シリコンウェーハの平坦度、厚さ、総厚の変化をテストするための自動非接触スキャン方法
• GB/T 42907-2023 シリコンインゴット、シリコンブロック、シリコンウェーハ内の非平衡キャリアの再結合寿命をテストするための非接触渦電流誘導法
• GB/T 26068-2010 シリコンウェーハキャリア再結合寿命の非接触マイクロ波反射光伝導減衰試験方法
• GB/T 28276-2012 シリコンベースのMEMS製造技術 バルクシリコンウェーハプロセス仕様

Hebei Provincial Standard of the People's Republic of China, シリコンウェーハ

• DB13/T 1633-2012 ソーラーグレードの多結晶シリコンウェーハ
• DB13/T 1828-2013 ソーラーグレードの単結晶シリコンウェーハ
• DB13/T 1314-2010 ソーラーグレード単結晶シリコン角棒、単結晶シリコンウェーハ

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), シリコンウェーハ

• KS D 0261-2012 ミラーシリコンウェーハの外観検査
• KS D 0261-2012(2022) ミラーシリコンウェーハの外観検査
• KS D 0262-2002(2022) 切断およびラッピングされたシリコンウェーハの外観検査
• KS D 0262-2002(2017) 切断されたウェーハと重なったウェーハの視覚検査
• KS D 0259-2012(2017) 偏厚・反りシリコンウェーハの厚さ測定法
• KS D 0259-2012(2022) シリコンウェーハの厚さ、厚さのばらつき、曲がりの測定方法
• KS C 0256-2002(2022) シリコン結晶およびシリコンウェーハの抵抗率の四探針試験方法
• KS D 0260-1999 単結晶シリコンウェーハの抵抗率を検査するための四探針法
• KS C 0256-2002 4探針法によるシリコン単結晶およびシリコンウェーハの比抵抗測定方法
• KS D 0259-2012 シリコンウェーハの厚さ、厚さのばらつき、および曲率を測定する方法
• KS D 0261-2012(2017) シリコンウェーハをミラーで検査
• KS D 0260-1989(1994) 四探針による単結晶シリコンウェーハの抵抗率検査方法
• KS C IEC 62276:2019 単結晶シリコンウェーハデバイスの表面弾性波（Saw）用途 - 仕様と測定方法
• KS D ISO 14706-2003(2018) 表面化学分析 – 全反射蛍光X線分析装置によりシリコンウェーハ表面の元素不純物を測定

Japanese Industrial Standards Committee (JISC), シリコンウェーハ

• JIS H 0614:1996 ミラーシリコンウェーハの外観検査
• JIS H 0611:1994 シリコンウェーハの厚み、厚みばらつき、曲がりの測定方法
• JIS H 0602:1995 四探針法を用いたシリコン結晶およびシリコンウェーハの抵抗率の試験方法

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, シリコンウェーハ

• GB/T 29055-2019 太陽電池用多結晶シリコンウェーハ
• GB/T 40279-2021 光反射法によるシリコンウェーハ表面の膜厚測定
• GB/T 14139-2019 シリコンエピタキシャルウェーハ
• GB/T 37051-2018 ソーラーグレードの多結晶シリコンインゴットおよびウェーハの結晶欠陥密度を測定する方法
• GB/T 32280-2022 シリコンウェーハの反りや曲率を検査するための自動非接触スキャン方法
• GB/T 39145-2020 誘導結合プラズマ質量分析法によるシリコンウェーハ表面の金属元素含有量の測定
• GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射蛍光 X 線分析 (TXRF) によるシリコン ウェーハ表面の元素汚染の測定

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, シリコンウェーハ

• GB/T 34479-2017 シリコンチップの英数字マーキング仕様
• GB/T 35310-2017 200mmシリコンエピタキシャルウェーハ

American Society for Testing and Materials (ASTM), シリコンウェーハ

• ASTM F534-02 シリコンウェーハの曲げの標準試験方法
• ASTM F534-97 シリコンウェーハの曲率の標準試験方法
• ASTM F1152-93 シリコンウェーハの溝寸法の標準試験方法
• ASTM F1152-93(2001) シリコンウェーハの溝寸法の標準試験方法
• ASTM F1618-96 シリコンウェーハ上の薄膜の均一性を判断するための標準的な手法
• ASTM F1726-97 シリコンウェーハの結晶学的完全性分析に関する標準ガイドライン
• ASTM F104-00 シリコンウェーハの浅いエッチピット検査の標準的な手法
• ASTM F1049-00 シリコンウェーハの浅いエッチピット検査の標準的な手法
• ASTM F533-96 シリコンウェーハの厚さおよび厚さばらつきの標準的な試験方法
• ASTM F533-02 シリコンウェーハの厚さおよび厚さばらつきの標準的な試験方法
• ASTM F81-00 シリコンウェーハの半径方向の抵抗率変化を測定するための標準的な試験方法
• ASTM F951-01 シリコンウェーハの半径方向の格子間酸素変化を測定するための標準的な試験方法
• ASTM F1727-97 研磨されたシリコンウェーハの酸化誘発欠陥を検出するための標準的な手法
• ASTM F951-96 シリコンウェーハのラジアルギャップ酸素変化を測定するための標準的な試験方法
• ASTM F1810-97 シリコンウェーハの浸食または表面欠陥の優先統計の標準試験方法
• ASTM F523-93(1997) 研磨されたシリコンウェーハ表面の肉眼検査の標準的な方法
• ASTM F1239-94 格子間酸素還元を測定することによりシリコンウェーハ上の酸素析出を特性評価するための標準試験方法
• ASTM F847-94(1999) 単結晶シリコンウェーハ上の基準面の結晶方位を X 線で測定するための標準的な試験方法
• ASTM F1527-00 シリコン抵抗率測定器の校正および制御におけるシリコン標準物質および標準シリコンウェーハの使用に関する標準ガイド

工业和信息化部, シリコンウェーハ

• YS/T 26-2016 シリコンウェーハエッジ輪郭検査方法
• HG/T 5962-2021 シリコンウェーハの切断廃液の処理・廃棄方法
• SJ/T 11631-2016 太陽電池用シリコンウェーハの外観欠陥検査方法
• SJ/T 11630-2016 太陽電池用シリコンウェーハの幾何学的寸法の試験方法
• SJ/T 11627-2016 太陽電池用シリコンウェーハ抵抗率のオンライン試験方法
• SJ/T 11632-2016 太陽電池用シリコンウェーハのマイクロクラック欠陥の検査方法
• SJ/T 11629-2016 太陽電池用シリコンウェーハおよびセルのオンラインフォトルミネッセンス分析方法
• SJ/T 11628-2016 シリコンウェーハサイズと太陽電池の電気的特性評価のオンラインテスト方法

Association Francaise de Normalisation, シリコンウェーハ

• NF C57-203*NF EN 50513:2009 ソーラーシリコンウェーハ 太陽電池製造用結晶シリコンのデータシートと製品情報 結晶シリコンウェーハ
• NF EN 50513:2009 ソーラーウェーハ – 太陽電池製造に使用される結晶シリコンウェーハのデータシートと製品情報
• NF C96-050-9*NF EN 62047-9:2012 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 9: 微小電気機械システム シリコン ウェーハのシリコン接合強度試験。
• NF EN 62276:2018 単結晶シリコンウェーハの仕様と表面弾性波 (OAS) デバイスを使用したアプリケーションの測定方法

Professional Standard - Ferrous Metallurgy, シリコンウェーハ

• YB/T 4397-2014 シリコンウェーハ切断用電気めっき黄銅鋼線

Professional Standard - Building Materials, シリコンウェーハ

• JC/T 2065-2011 太陽電池シリコンウェーハ用石英ボート
• JC/T 2066-2011 太陽電池シリコンウェーハ用石英ガラス拡散管

Military Standard of the People's Republic of China-General Armament Department, シリコンウェーハ

• GJB 1944-1994 宇宙太陽電池シリコンウェーハ仕様
• GJB 2052-1994 赤外線電荷結合素子用シリコンウェーハの仕様

Defense Logistics Agency, シリコンウェーハ

• DLA SMD-5962-77054 REV F-2004 シリコンモノリシックデュアルトラッキング電圧レギュレータ、リニアマイクロ回路
• DLA MIL-M-38510/23 D VALID NOTICE 1-2008 シングルシリコンチップの高速デジタル NAND ゲートマイクロ回路
• DLA DSCC-VID-V62/08625 REV A-2008 IEEE-1394接続層コントローラーを備えたシングルシリコンデジタルマイクロ回路
• DLA MIL-M-38510/104 C VALID NOTICE 1-2008 ラインドライバーとレシーバーを備えた単一のシリコンリニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-90549 REV C-2008 デジタル超小型回路、マンチェスター エンコーダ/デコーダ、シングル シリコン チップ
• DLA SMD-5962-95551 REV C-2008 バイナリマイクロパワー電圧コンパレータを備えたリニアシングルシリコン超小型回路
• DLA SMD-5962-93184 REV B-2008 バイナリ/クォータナリ電流フィードバックアンプを備えたリニアシングルシリコンマイクロ回路
• DLA SMD-5962-89552 REV B-2008 デジタルマイクロ回路、高度な CMOS タイプ 8 エッジ D フリップフロップ、シングル シリコン チップ
• DLA MIL-M-38510/440C-1986 モノリシック シリコン、4 ビット チップ マイクロプロセッサ用のデジタル超小型回路
• DLA SMD-5962-88677 REV B-2004 シリコンモノリシック 4 ビットバイポーラマイクロプロセッサチップ
• DLA SMD-5962-97510 REV C-2008 リニアシングルシリコンマイクロ回路、広い電圧入力範囲、バイナリオペアンプ付き
• DLA SMD-5962-93195 REV C-2008 12 ビットの自己校正識別データ収集システムを備えたリニア シングル シリコン超小型回路
• DLA SMD-5962-88736 REV A-1992 シリコンモノリシックマルチパイプラインデジタルマイクロ回路
• DLA SMD-5962-89588 REV A-2006 シリコンモノリシックレギュレータリニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-89504 REV B-2005 シリコンモノリシックデュアルコンパレータリニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-89805 REV A-2002 シリコンモノリシック、実効値チップ、リニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-93074 REV H-2008 電圧 +5,5V の 3 チャンネル DC/DC コンバータを備えたリニア シングル シリコン ハイブリッドマイクロ回路
• DLA SMD-5962-77028 REV G-2005 シリコンモノリシック電圧基準線形マイクロ回路
• DLA SMD-5962-87774 REV A-2004 シリコンモノリシック5Vレギュレータリニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-87778 REV A-2001 シリコンモノリシックパワートランジスタリニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-87780-1989 シリコンモノリシック楽器スピーカーリニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-87803 REV C-2004 シリコンモノリシック位相周波数検出器線形マイクロ回路
• DLA SMD-5962-88630 REV E-2006 シリコンモノリシック楽器スピーカーリニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-88631 REV D-2004 シリコンモノリシックペリフェラルドライバーリニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-88657 REV A-1992 シリコンモノリシック同期スケジュールバイナリカウンター
• DLA SMD-5962-97543 REV C-2003 シリコンモノリシック相補型金属酸化物半導体、八角形バススリーステート受信機、シリコンモノリシック回路デジタルマイクロ回路
• DLA SMD-5962-89644 REV B-2005 シリコンモノリシック、オペアンプ、リニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-87740 REV D-2007 シリコンモノリシック電源監視回路リニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-89778 REV A-2006 シリコンモノリシック、電子制御発振器、リニア超小型回路
• DLA SMD-5962-89803-1990 シリコンモノリシック、対数アンプ、リニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-87743 REV B-2006 シリコンモノリシックの第 8 および第 9 デジタルマイクロ回路
• DLA SMD-5962-89876 REV B-2002 シリコンモノリス、トランジスタアレイ、線形超小型回路
• DLA SMD-5962-88511 REV B-2005 シリコンモノリシック差動ライントランシーバーリニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-88519 REV A-2006 シリコンモノリシック大電流ドライバーリニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-90507 REV A-2000 シリコンモノリシック、温度センサー、リニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-90521-1993 シリコンモノリシック、広帯域アンプ、リニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-88641 REV B-2002 シリコンモノリシック一般デュアルフィルターリニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-88644 REV E-2003 シリコンモノリシックドライバーレシーバーデジタルマイクロ回路
• DLA SMD-5962-90627 REV C-2003 シリコンモノリシック、電圧コンパレータ、リニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-90650 REV B-2003 シリコンモノリシック、自動コントローラー、リニア超小型回路
• DLA SMD-5962-93139-1993 シリコンモノリシック、MOSFET プリドライバー、リニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-89464 REV B-1994 シリコンモノリシック 32 ビットマイクロプロセッサデジタルマイクロ回路
• DLA SMD-5962-97521 REV A-2002 電流フィードバックシリコンモノリシック回路リニアマイクロ回路
• DLA SMD-5962-89637 REV B-2004 シリコンモノリシック、広帯域 RMS チップ、リニアマイクロ回路

Institute of Interconnecting and Packaging Electronic Circuits (IPC), シリコンウェーハ

• IPC TM-650 2.4.22.2-1995 基板の曲率: シリコンウェーハと誘電体の堆積

International Electrotechnical Commission (IEC), シリコンウェーハ

• IEC 62047-9:2011 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 9: 微小電気機械システムシリコンウェーハのシリコンウェーハ接合強度試験
• IEC 62047-9:2011/COR1:2012 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 9: 微小電気機械システムシリコンウェーハのシリコンウェーハ接合強度試験
• IEC 62276:2016 単結晶シリコンウェーハデバイスの表面弾性波（Saw）用途 - 仕様と測定方法

Shaanxi Provincial Standard of the People's Republic of China, シリコンウェーハ

• DB61/T 512-2011 太陽電池用単結晶シリコンウェーハの検査ルール

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）, シリコンウェーハ

• EN 62047-9:2011 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 9: 微小電気機械システム (MEMS) シリコン ウェーハのシリコン接着強度試験

Professional Standard - Machinery, シリコンウェーハ

• JB/T 9658-1999 珪素鋼板スリッター機
• JB/T 904-1999 油性珪素鋼板塗料
• JB/T 7061-1993 パワー半導体デバイス用シリコンウェーハ
• JB/T 56175-1999 珪素鋼板スリッター機の製品品質分類
• JB/Z 169-1981 電気用熱延珪素鋼板の受入技術条件

Taiwan Provincial Standard of the People's Republic of China, シリコンウェーハ

• CNS 7218-1981 磁極用珪素鋼板
• CNS 7214-1981 モーター用珪素鋼板の試験方法

Shanghai Provincial Standard of the People's Republic of China, シリコンウェーハ

• DB31/ 792-2014 シリコン単結晶及びそのシリコンウェーハの単位製品当たりのエネルギー消費限度
• DB31/T 792-2014 シリコン単結晶及びそのシリコンウェーハの単位製品当たりのエネルギー消費限度
• DB31/ 792-2020 シリコン単結晶及びそのシリコンウェーハの単位製品当たりのエネルギー消費限度

Professional Standard - Electron, シリコンウェーハ

• SJ/T 31096-1994 精密シリコンウェーハグラインダーの完全性要件と検査および評価方法
• SJ 20636-1997 IC用大口径薄型シリコンウェーハの酸素・炭素含有量の微小領域検査方法
• SJ 1549-1979 シリコンエピタキシャルウェーハ（予定）
• SJ/T 10627-1995 格子間酸素含有量の減少を測定することによりシリコンウェーハの酸素析出特性を評価する方法
• SJ 1550-1979 シリコンエピタキシャルウェーハの検査方法
• SJ/Z 1610-1980 シリコンエピタキシャルウェーハ欠陥アトラス

Professional Standard - Aviation, シリコンウェーハ

• HB/Z 5016-1995 珪素鋼板熱処理工程
• HB/Z 5016-1976 珪素鋼板熱処理工程

机械电子工业部, シリコンウェーハ

• JB/T 5260-1991 珪素鋼板塗装工程ガイドライン

KR-KS, シリコンウェーハ

• KS C IEC 62276-2019 単結晶シリコンウェーハデバイスの表面弾性波（Saw）用途 - 仕様と測定方法

Professional Standard - Agriculture, シリコンウェーハ

• 24药典 二部-2015 パート 1: ジメチコン錠の 2 つのペイント
• 24药典 二部-2020 パート 1: ジメチコン錠の 2 つのペイント
• 3兽药产品说明书范本第一册-2013 二花ジメチコン錠の説明書
• 17药典 二部-2010 パート 1: ジメチコン錠の 2 つのペイント

Aerospace Industries Association, シリコンウェーハ

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