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硅片
本专题涉及硅片的标准有235条。
国际标准分类中，硅片涉及到太阳能工程、半导体材料、电池和蓄电池、有色金属、绝缘流体、金属材料试验、机床装置、集成电路、微电子学、钢铁产品、切削工具、玻璃、词汇、电子电信设备用机电元件、废物、半导体分立器件、绝缘材料、密封件、密封装置、能源和热传导工程综合、综合、术语学、标准化、文献、电学、磁学、电和磁的测量、电气设备元件、长度和角度测量、农业机械、工具和设备、内燃机、频率控制和选择用压电器件与介质器件、整流器、转换器、稳压电源、音频、视频和视听工程、数据存储设备、分析化学、报警和警告系统、通风机、风扇、空调器。
在中国标准分类中，硅片涉及到太阳能、半金属、、元素半导体材料、物理电源、金属物理性能试验方法、半金属与半导体材料综合、金属工艺性能试验方法、半金属及半导体材料分析方法、微电路综合、钢丝、钢丝绳、石英玻璃、连接器、污染控制技术规范、半导体分立器件综合、电器生产设备、电工绝缘材料及其制品、技术管理、金属无损检验方法、加工专用设备、电工材料和通用零件综合、数据媒体、热加工工艺、电子技术专用材料、化合物半导体材料、半导体集成电路、电力半导体器件、部件、电子元件综合、电机生产设备、音响、电声设备、计算机外围设备、基础标准与通用方法、安全防范报警系统、敏感元器件及传感器、通风、空调工程、电磁计量、钢板、钢带、电工用钢、合成树脂、塑料基础标准与通用方法。
德国标准化学会，关于硅片的标准
- DIN V VDE V 0126-18-2-1:2007 太阳能硅片.第2-1部分:硅片几何尺寸的测量.硅片厚度
- DIN V VDE V 0126-18-3:2007 太阳能硅片.第3部分:结晶硅片的碱性腐蚀损坏.单晶硅片和多晶硅片腐蚀速度的测定方法
- DIN V VDE V 0126-18-5:2007 太阳能硅片.第5部分:硅片电阻测量用程序
- DIN V VDE V 0126-18-2-2:2007 太阳能硅片.第2-2部分:硅片几何尺寸的测量.厚度的变化
- DIN V VDE V 0126-18-2-3:2007 太阳能硅片.第2-3部分:硅片几何尺寸的测量.波纹和扭曲变形
- DIN EN 50513:2009 太阳能硅片.太阳能电池制造用水晶硅片的数据表和产品信息
- DIN V VDE V 0126-18-2-4:2007 太阳能硅片.第2-4部分:硅片几何尺寸的测量.锯痕和步进式锯痕
- DIN V VDE V 0126-18-4-1:2007 太阳能硅片.第4-1部分:硅片电气特性的测量程序.联机测量法测定少数载流子寿命
- DIN EN 62047-9:2012 半导体器件.微型机电器件.第9部分:微机电系统硅片的硅片键合强度试验(IEC 62047-9-2011).德文版本 EN 62047-9-2011
- DIN 50435:1988 半导体材料试验:采用四探针/直流法测量硅片和锗片电阻率的径向变化
- DIN V VDE V 0126-18-4-2:2007 太阳能硅片.第4-2部分:硅电气特性的测量程序.实验室测量法测定少数载流子寿命
- DIN V VDE V 0126-18-6:2007 太阳能硅片.第6部分:光电器件用硅中代位碳原子和间隙氧含量的测量方法
行业标准-有色金属，关于硅片的标准
- YS/T 28-2015 硅片包装
- YS/T 28-1992 硅片包装
- YS/T 26-1992 硅片边缘轮廓检验方法
中国团体标准，关于硅片的标准
- T/QGCML 3974-2024 硅片切割液
- T/CNIA 0174-2022 硅片切割废料回收硅
- T/CPIA 0037-2022 光伏晶体硅片规范
- T/SZBX 118-2023 太阳能电池用单晶硅片
- T/CAMS 179-2023 硅片切片机用高速高精主轴
- T/ZZB 0594-2018 硅片用电镀金刚石切割线
- T/CEC 290-2019 背接触单晶硅片技术要求
- T/SHDSGY 135-2023 新能源半导体硅片材料技术
- T/QGCML 2024-2023 掺镓硅片技术生产管理办法
- T/CPIA 0038-2022 光伏硅片切割用电镀金刚石线
- T/CPIA 0057-2024 光伏硅片多线切割机技术要求
- T/ZPP 016-2022 光伏硅片脱胶插片一体化技术要求
- T/SHDSGY 160-2022 非接触式硅片传输装置技术规范
- T/CPIA 0022-2020 光伏硅片制造业绿色工厂评价要求
- T/CPIA 0021-2020 绿色设计产品评价技术规范 光伏硅片
- T/CPIA 0061-2024 质量分级及“领跑者”评价要求 光伏硅片
- T/CECA 39-2020 变压器用硅钢片
- T/SAAMM 1016-2023 滴头用压力补偿硅胶片
- T/QGCML 947-2023 导热硅胶垫片
国家质检总局，关于硅片的标准
- GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法
- GB/T 6619-1995 硅片弯曲度测试方法
- GB/T 6619-2009 硅片弯曲度测试方法
- GB/T 29055-2012 太阳电池用多晶硅片
- GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法
- GB/T 26067-2010 硅片切口尺寸测试方法
- GB/T 32279-2015 硅片订货单格式输入规范
- GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
- GB/T 29055-2019(英文版) 光伏太阳能电池用多晶硅片
- GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法
- GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法
- GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
- GB/T 6620-1995 硅片翘曲度非接触式测试方法
- GB/T 6620-2009 硅片翘曲度非接触式测试方法
- GB/T 6617-1995 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
- GB/T 6618-1995 硅片厚度和总厚度变化测试方法
- GB/T 11073-2007 硅片径向电阻率变化的测量方法
- GB/T 6617-2009 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
- GB/T 6618-2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法
- GB/T 43315-2023 硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法
- GB/T 32280-2015 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法
- GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
- GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
- GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
- GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
- GB/T 14143-1993 300-900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
- GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法
- GB/T 14139-1993 硅外延片
- GB/T 14139-2009 硅外延片
- GB/T 19444-2004 硅片氧沉淀特性的测定-间隙氧含量减少法
- GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
- GB/T 6616-1995 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层 电阻测定 非接触涡流法
- GB/T 30859-2014 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法
- GB/T 30869-2014 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法
- GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
- GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
- GB/T 6616-2009 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
- GB/T 30860-2014 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法
- GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
- GB/T 24578-2009 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
- GB/T 26069-2010 硅退火片规范
- GB/T 43885-2024 碳化硅外延片
- GB/T 29507-2013 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法
- GB/T 42907-2023 硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法
- GB/T 26068-2010 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
- GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范
河北省标准，关于硅片的标准
- DB13/T 1633-2012 太阳能级多晶硅片
- DB13/T 1828-2013 太阳能级类单晶硅片
- DB13/T 1314-2010 太阳能级单晶硅方棒、单晶硅片
SCC，关于硅片的标准
- DIN SPEC 91351:2017 光伏硅片强度测试
- DIN V VDE V 0126-18-1:2006 太阳能硅片 第1部分：晶体硅太阳能硅片的数据表信息和项目数据
- SPC GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命测试方法微波反射法非接触测量光电导衰减
韩国科技标准局，关于硅片的标准
- KS D 0261-2012 镜面硅片的外观检验
- KS D 0261-2012(2022) 镜面硅片的目视检查
- KS D 0262-2002(2022) 切片和搭接硅片的目视检查
- KS D 0262-2022 切片和研磨硅片的目视检查
- KS D 0262-2002(2017) 切片和重叠的硅片的目视检查
- KS D 0261-2022 具有镜面表面的硅片的目视检查
- KS D 0259-2012(2017) 测量的厚度 厚度不均或弓硅片方法
- KS C 0256-2022 四点探针硅晶体及硅片电阻率测试方法
- KS D 0259-2012(2022) 硅片厚度、厚度变化和弯曲的测量方法
- KS C 0256-2002(2022) 硅晶体和硅片电阻率的四点探针测试方法
- KS D 0260-1999 四点探针法测试单晶硅片电阻率的方法
- KS D 0259-2022 硅片厚度、厚度偏差和弯曲度的测量方法
- KS C 0256-2002 硅单结晶及硅片的4探针法的抵抗率测定方法
- KS D 0259-2012 硅片的厚度、厚度变化和弯曲度的测定方法
- KS D 0261-2012(2017) 用镜面检查硅晶片
- KS D 0260-1989(1994) 具有四点探针的单晶硅片的电阻率测试方法
- KS C IEC 62276:2019 用于表面声波（锯）的单晶硅片器件应用 - 规格和测量方法
- KS D ISO 14706-2003(2018) 表面化学分析-全反射X-射线荧光分析仪测定硅片表面元素杂质
日本工业标准调查会，关于硅片的标准
- JIS H 0614:1996 镜面硅片的目视检查
- JIS H 0611:1994 硅片厚度、厚度变化及弯曲的测量方法
- JIS H 0602:1995 用四点探针法对硅晶体和硅片电阻率的测试方法
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于硅片的标准
- GB/T 29055-2019 太阳能电池用多晶硅片
- GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
- GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法
- GB/T 14139-2019 硅外延片
- GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
- GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
- GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于硅片的标准
- GB/T 34479-2017 硅片字母数字标志规范
- GB/T 35310-2017 200mm硅外延片
美国材料与试验协会，关于硅片的标准
- ASTM F534-02 硅片弯曲标准试验方法
- ASTM F534-97 硅片弯曲度的标准试验方法
- ASTM F1152-93 硅片刻槽尺寸的标准测试方法
- ASTM F1152-93(2001) 硅片刻槽尺寸的标准测试方法
- ASTM F1618-96 测定硅片薄膜均匀性的标准规程
- ASTM F1726-97 硅片结晶完整性分析的标准导则
- ASTM F104-00 硅片上浅蚀坑检测的标准实施规程
- ASTM F1049-00 硅片上浅蚀坑检测的标准实施规程
- ASTM F533-96 硅片的厚度及厚度变化的标准试验方法
- ASTM F533-02 硅片的厚度及厚度变化的标准试验方法
- ASTM F81-00 硅片径向电阻率变化测量的标准试验方法
- ASTM F951-01 测定硅片径向晶隙氧变化的标准试验方法
- ASTM F1727-97 抛光硅片氧化诱发缺陷检测标准实施规程
- ASTM F951-96 硅片中径向间隙氧变化测定的标准试验方法
- ASTM F1810-97 择优统计硅片侵蚀或表面缺陷的标准试验方法
- ASTM F523-93(1997) 抛光硅片表面的无辅助目视检查的标准实施规程
- ASTM F1239-94 通过测量晶隙氧还原表征硅片氧沉淀的标准试验方法
- ASTM F847-94(1999) 单晶硅片参考面结晶学取向X射线测量的标准试验方法
- ASTM F1527-00 硅电阻率测量仪校准和控制用硅标准物质和标准硅片使用的标准指南
工业和信息化部，关于硅片的标准
- YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法
- HG/T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法
- SJ/T 11631-2016 太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法
- SJ/T 11630-2016 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法
- SJ/T 11627-2016 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法
- SJ/T 11632-2016 太阳能电池用硅片微裂纹缺陷的测试方法
- SJ/T 11629-2016 太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光分析方法
- SJ/T 11628-2016 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法
法国标准化协会，关于硅片的标准
- NF C57-203*NF EN 50513:2009 太阳能硅片.太阳能电池生产用晶体硅的数据单和产品信息.晶体硅硅片
- NF EN 50513:2009 太阳能硅片 – 用于太阳能电池制造的晶体硅片的数据表和产品信息
- NF C96-050-9*NF EN 62047-9:2012 半导体器件 - 微型机电装置 - 第9部分: 微机电系统硅片的硅片键合强度测试.
- NF EN 62276:2018 用于使用表面声波(OAS)设备的应用的单晶硅片 规格和测量方法
美国国防后勤局，关于硅片的标准
- DLA SMD-5962-77054 REV F-2004 硅单片硅单片双重追踪稳压器,线性微型电路
- DLA MIL-M-38510/23 D VALID NOTICE 1-2008 单硅片高速数字与非门微电路
- DLA DSCC-VID-V62/08625 REV A-2008 单硅片数字微电路,带 IEEE-1394 连接层控制器
- DLA MIL-M-38510/104 C VALID NOTICE 1-2008 单硅片线性微电路,带线路驱动器及接收器
- DLA SMD-5962-90549 REV C-2008 数字微电路,曼彻斯特编码/解码器和单硅片
- DLA SMD-5962-95551 REV C-2008 线性单硅片微电路,带二元微功率电压比较器
- DLA SMD-5962-93184 REV B-2008 线性单硅片微电路,带二元/四元电流反馈放大器
- DLA SMD-5962-89552 REV B-2008 数字微电路,高级CMOS型八边沿D触发器和单硅片
- DLA MIL-M-38510/440C-1986 单片硅,四位片微处理机的数字微电路
- DLA SMD-5962-88677 REV B-2004 硅单片4位双极微处理器片
- DLA SMD-5962-97510 REV C-2008 线性单硅片微电路,电压输入范围广,带二元运算放大器
- DLA SMD-5962-93195 REV C-2008 线性单硅片微电路,带12比特的自校标识数据采集系统
- DLA SMD-5962-88736 REV A-1992 硅单片多管道数字微电路
- DLA SMD-5962-89588 REV A-2006 硅单片稳压器线性微型电路
- DLA SMD-5962-89504 REV B-2005 硅单片双比较器线性微电路
- DLA SMD-5962-89805 REV A-2002 硅单片,有效值芯片,线性微型电路
- DLA SMD-5962-93074 REV H-2008 线性单硅片混合微电路,带电压为+5,5V的三通道直流/直流转换器
- DLA SMD-5962-77028 REV G-2005 硅单片电压基准线性微型电路
- DLA SMD-5962-87774 REV A-2004 硅单片5-V稳压器线性微电路
- DLA SMD-5962-87778 REV A-2001 硅单片功率晶体管线性微电路
- DLA SMD-5962-87780-1989 硅单片仪表扬声器线性微电路
- DLA SMD-5962-87803 REV C-2004 硅单片相频探测器线性微电路
- DLA SMD-5962-88630 REV E-2006 硅单片仪表扬声器线性微电路
- DLA SMD-5962-88631 REV D-2004 硅单片周边驱动器线性微电路
- DLA SMD-5962-88657 REV A-1992 硅单片同步预定二进制计数器
- DLA SMD-5962-97543 REV C-2003 硅单片互补金属氧化物半导体,八角母线三状态接收器,硅单片电路数字微电路
- DLA SMD-5962-89644 REV B-2005 硅单片,运算放大器,线性微型电路
- DLA SMD-5962-87740 REV D-2007 硅单片供电监控电路线性微电路
- DLA SMD-5962-89778 REV A-2006 硅单片,电控振荡器,线性微型电路
- DLA SMD-5962-89803-1990 硅单片,对数放大器,线性微型电路
- DLA SMD-5962-87743 REV B-2006 硅单片第8和第9分数字微电路
- DLA SMD-5962-89876 REV B-2002 硅单片,晶体管阵列,线性微型电路
- DLA SMD-5962-88511 REV B-2005 硅单片差分线收发器线性微电路
- DLA SMD-5962-88519 REV A-2006 硅单片高电流驱动器线性微电路
- DLA SMD-5962-90507 REV A-2000 硅单片,温度传感器,线性微型电路
- DLA SMD-5962-90521-1993 硅单片,宽带放大器,线性微型电路
- DLA SMD-5962-88641 REV B-2002 硅单片一般双过滤器线性微电路
- DLA SMD-5962-88644 REV E-2003 硅单片驱动器接收器数字微电路
- DLA SMD-5962-90627 REV C-2003 硅单片,电压比较器,线性微型电路
- DLA SMD-5962-90650 REV B-2003 硅单片,自动控制器,线性微型电路
- DLA SMD-5962-93139-1993 硅单片,MOSFET预驱动器,线性微型电路
- DLA SMD-5962-89464 REV B-1994 硅单片32位微处理器数字微电路
- DLA SMD-5962-97521 REV A-2002 电流反馈硅单片电路线型微电路
- DLA SMD-5962-89637 REV B-2004 硅单片,宽带有效值芯片,线性微型电路
- DLA MIL-PRF-47009 D-2006 散热片硅树脂化合物
- DLA A-A-55757 A-2012 橡胶、硅胶；垫片，形状 13
行业标准-黑色冶金，关于硅片的标准
- YB/T 4397-2014 切割硅片用电镀黄铜钢丝
行业标准-建材，关于硅片的标准
- JC/T 2065-2011 太阳能电池硅片用石英舟
- JC/T 2066-2011 太阳能电池硅片用石英玻璃扩散管
国家军用标准-总装备部，关于硅片的标准
- GJB 1944-1994 空间太阳能电池硅片规范
- GJB 2052-1994 红外电荷耦合器件用硅片规范
美国电子电路和电子互连行业协会，关于硅片的标准
- IPC TM-650 2.4.22.2-1995 衬底曲率:硅片与电介质沉积
国际电工委员会，关于硅片的标准
- IEC 62047-9:2011 半导体器件.微型机电器件.第9部分:微机电系统硅片的硅片键合强度测试
- IEC 62047-9:2011/COR1:2012 半导体器件.微型机电器件.第9部分:微机电系统硅片的硅片键合强度测试
- IEC 62276:2016 用于表面声波（锯）的单晶硅片器件应用 - 规格和测量方法
陕西省标准，关于硅片的标准
- DB61/T 512-2011 太阳电池用单晶硅片检验规则
欧洲电工标准化委员会，关于硅片的标准
- EN 62047-9:2011 半导体器件.微型电机装置.第9部分:微型电机系统(MEMS)硅片的硅片键合强度测试
行业标准-机械，关于硅片的标准
- JB/T 9658-1999 硅钢片纵剪机
- JB/T 904-1999 油性硅钢片漆
- JB/T 7061-1993 电力半导体器件用硅圆片
- JB/T 56175-1999 硅钢片纵剪机 产品质量分等
- JB/Z 169-1981 电工用热轧硅钢片验收技术条件
台湾地方标准，关于硅片的标准
- CNS 7218-1981 磁极用硅钢片
- CNS 7214-1981 电机用硅钢片试验方法
上海市标准，关于硅片的标准
- DB31/ 792-2014 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额
- DB31/T 792-2014 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额
- DB31/ 792-2020 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额
行业标准-电子，关于硅片的标准
- SJ/T 31096-1994 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法
- SJ 20636-1997 IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法
- SJ 1549-1979 硅外延片(暂行)
- SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
- SJ 1550-1979 硅外延片检测方法
- SJ/Z 1610-1980 硅外延片缺陷图集
行业标准-航空，关于硅片的标准
- HB/Z 5016-1995 硅钢片热处理工艺
- HB/Z 5016-1976 硅钢片热处理工艺
机械电子工业部，关于硅片的标准
- JB/T 5260-1991 硅钢片涂漆工艺导则
KR-KS，关于硅片的标准
- KS C IEC 62276-2019 用于表面声波（锯）的单晶硅片器件应用 - 规格和测量方法
行业标准-农业，关于硅片的标准
- 24药典 二部-2015 第一部分 二画 二甲硅油片
- 24药典 二部-2020 第一部分 二画 二甲硅油片
- 3兽药产品说明书范本第一册-2013 二画 二 二甲硅油片说明书
- 17药典 二部-2010 第一部分 二画 二甲硅油片
未注明发布机构，关于硅片的标准
- SEMI M55-0308-2008 抛光单晶碳化硅晶片规范
- SEMI E146-0306-2006 测定用于储存和运输硅片的微环境中的颗粒污染的测试方法
美国航空工业协会，关于硅片的标准
- AIA NAS 3450-1983 无外壳设备（硅单片）（修订版 2）
AIA/NAS - Aerospace Industries Association of America Inc.，关于硅片的标准
- NAS3450-1983 无外壳设备（硅单片）（修订版 2）
JP-JEITA，关于硅片的标准
- JEITA EM-3510-2007 硅晶片用边缘转降测定方法
国家计量检定规程，关于硅片的标准
- JJG 405-1986 硅钢片(带)标准样品试行检定规程
行业标准-商品检验，关于硅片的标准
- SN/T 3112-2012 冷轧硅钢片晶粒取向性鉴别方法
