JB/T 4082-1991
溅射离子泵.技术条件


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JB/T 4082-1991



标准号
JB/T 4082-1991
发布日期
1991年07月22日
实施日期
1992年07月01日
废止日期
2012-04-01
中国标准分类号
J78
国际标准分类号
23.160
发布单位
CN-JB
代替标准
JB/T 4081-2011
适用范围
  本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。   本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵。

JB/T 4082-1991 中可能用到的仪器设备





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