JB/T 8945-1999
真空溅射镀膜设备

Vacuum sputtering coating plant

JBT8945-1999, JB8945-1999

2010-07

JB/T 8945-1999 中,可能用到以下仪器

 

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JB/T 8945-1999

标准号
JB/T 8945-1999
别名
JBT8945-1999
JB8945-1999
发布
1999年
发布单位
行业标准-机械
替代标准
JB/T 8945-2010
当前最新
JB/T 8945-2010
 
 
本标准规定了真空溅射镀膜设备的型号和基本参数,技术要求,试验方法,榆验规则,标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在1×10^(-4)~5×10^(-3)Pa范围的真空贱射镀膜设备。

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