本标准规定了厚度为0.3~2.0mm的硅晶片中间隙氧含量微区径向分布和替位碳含量微区测量方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω.cm的硅晶片中间隙氧含量微区径向分布和替位碳含量微区测定。测量范围。对于间隙氧含量为3.0×10^(16)at.cm^(-3)至间隙氧在硅中最大固溶度;对于替位碳含量为5.0×10^(15)at.cm^(-3)至替位碳在硅中最大固溶度。
SJ 20636-1997由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1997-06-17,并于 1997-10-01 实施。
SJ 20636-1997 在中国标准分类中归属于: L55 微电路综合,在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。
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