光干涉计量测试技术以波长为计量单位,是一种公认的高精度计量测试技术。许多精密测试工作都是以光干涉的方法来实现的。干涉仪输出的是一幅干涉图,借助数学物理模型可以将干涉图与多种被测参数相联系,从而实现测量相关的物理参数。这就促使了测量薄膜膜厚的仪器--膜厚测量仪的应运而生。基于不同的测量原理,现今发展出的膜厚仪有:光谱测量仪、椭圆偏振光测量仪、在线测量仪、涂层膜厚测试仪等。...
FOLI10-T主要技术参数* 干涉仪:自主研发高温度立体角镜干涉仪,恒久准直* 光源: 高性能中红外光源* 激光器:固态激光器,使用寿命10年* 分束器:防潮型ZnSe分束器* 光谱范围:5000-500cm-1* 检测器:高灵敏度DLATGS检测器 FOLI10系列产品介绍除了透射红外光谱仪FOLI10-T之外,荧飒光学陆续推出了其他不同型号的红外光谱仪,满足药包材及相关行业的测试需求:1)FOLI10...
迈克尔逊干涉仪,是1883年美国物理学家迈克尔逊和莫雷合作,为研究“以太”漂移而设计制造出来的精密光学仪器。它是利用分振幅法产生双光束以实现干涉。通过调整该干涉仪,可以产生等厚干涉条纹,也可以产生等倾干涉条纹。主要用于长度和折射率的测量,若观察到干涉条纹移动一条,便是M2的动臂移动量为λ/2,等效于M1与M2之间的空气膜厚度改变λ/2。...
,支持检测小尺寸样品软件界面直观,操作方便省时应用实例(1)膜厚仪在某晶振行业的应用晶振行业一般使用石英震荡法进行测试膜厚,对于比较薄的膜(几微米及以下级别),通常准确度达不到需求。...
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