ASTM F398-92(1997)由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 1997-06-10。
1.1 本测试方法涵盖了掺杂半导体样品红外反射率中等离子共振最小值波数的测定,从中可以获得多数载流子浓度。
1.2 本测定波数最小值的测试方法是非破坏性和非接触式的。适用于nand p型硅、nand p型砷化镓、n型锗。
1.3 本测试方法给出了相对测量,等离子体共振最小值的波数与多数载流子浓度之间的关系是经验性的。附件 A1 中总结的几个案例已经建立了这种关系。这些关系基于通过本方法的程序确定的等离子体共振最小值以及根据测试方法 F 76(第 2 部分)确定的霍尔系数或根据测试方法 F 43 或测试方法 F 84(第 2 部分)确定的电阻率作为适当的。
1.4 这些关系是在 n 型硅的 1.5 3 10 18 至 1.5 3 1021 cm -3 的多数载流子浓度范围内建立的,p 型硅的多数载流子浓度范围是 3 3 10 18 至 5 3 1020 cm -3 ,p 型硅的多数载流子浓度范围是 3 3 1018 至对于 n 型锗,从 7 3 10 19,对于 n 型砷化镓,从 1.5 3 10 17 到 1 3 1019,从
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影响方法精密度的因素还包括样品的位置和固体、液体样品的形态,在校正 模型中必须严密控制或说明。样品的制备方法或样品室的形状可能影响测量灵敏 度,而且,该灵敏度会随着仪器的激发光和采集光学设置的不同而不同。测定法测定拉曼光谱可以采用以下任一物质态:结晶态、无定型态、液体、气体或 等离子体。液体能够在玻璃管或石英管中直接测量。无定型和微晶固体也可充填入玻璃 管或石英管中直接测定。...
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