本规范规定若干种标准测试图形,用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。 本规范针对线宽计量、分辨率测试和邻近效应测试的需要,规定若干种基本测试图形单元的形状、一般尺寸、以及推荐的布局和设计规则。这些标准图形包括可供光学显微镜、电子显微镜和电子探针测量用的各种图形单元。 本规范不规定验证母版上测试图形关键尺寸的测量技术,也不规定如何测量大圆片上的光刻图形,只规定若干种必要的基本测试图形,以及用户实施符合本规范的实际测试图形。
GB/T 16878-1997由国家质检总局 CN-GB 发布于 1997-06-20,并于 1998-03-01 实施。
GB/T 16878-1997 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备,在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。
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