JJF 1351-2012
扫描探针显微镜校准规范
Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
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- 标准号
- JJF 1351-2012
- 发布日期
- 2012年06月18日
- 实施日期
- 2012年09月18日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- N32
- 发布单位
- CN-JJF
- 引用标准
- JJF 1001-2011 GB/T 19067.1-2003
- 适用范围
- 本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。 扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。