本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。 扫描探针显微镜根据其设计原理不同,校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量,不在本校准规范的适用范围。
JJF 1351-2012由国家计量技术规范 CN-JJF 发布于 2012-06-18,并于 2012-09-18 实施。
JJF 1351-2012 在中国标准分类中归属于: N32 放大镜与显微镜。
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