GB/T 13389-1992
掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon

GBT13389-1992, GB13389-1992

2015-09

GB/T 13389-1992 发布历史

GB/T 13389-1992由国家质检总局 CN-GB 发布于 1992-02-19,并于 1992-10-01 实施,于 2015-09-01 废止。

GB/T 13389-1992 在中国标准分类中归属于: H21 金属物理性能试验方法。

GB/T 13389-1992 采用标准及采用方式

  • EQV ASTM F723

GB/T 13389-1992的历代版本如下:

  • 2014年 GB/T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
  • 1992年 GB/T 13389-1992 掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

 

本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。 本标准适用于掺杂剂浓度10~10cm(电阻率0.0001~10,000Ω·cm)掺硼硅单晶和10~5×10cm(电阻率0.0002~4,000Ω·cm)掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算,也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。

GB/T 13389-1992

标准号
GB/T 13389-1992
别名
GBT13389-1992
GB13389-1992
发布
1992年
采用标准
ASTM F723 EQV
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 13389-2014
当前最新
GB/T 13389-2014
 
 

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