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量伙半导体设备（上海）有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | LH-RTA-C |
| 品牌： | 量伙 | 产地： | 上海 |
| 关注度： | 105 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
400-6699-117转1000
发布时间：2022年09月
设备规格：
1.手动操作模式；
2. 适应于 2英寸-4英寸 晶圆或者支持 (100mmx100mm)样品；
3.退火温度范围 300℃-1000℃；
4.升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；
5.温度均匀性 ≦±1%(>500 ℃)；
6.常压腔体（可选配真空腔体）；
7.冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
8.MFC控制，1-4路制程气体。
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
