6寸快速退火炉

我司具有软件、自动化和机械等整套研发人员，可依据客户需求，完成定制化设备的研发生产。

工艺应用:

快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；

离子注入/接触退火；

高温退火；

高温扩散。

金属合金；

热氧化处理；

应用领域：

化合物半导体（砷化镓、氮化物、碳化硅等）；

多晶硅；

太阳能电池片；

MEMS；

功率器件；

IC晶圆；

LED晶圆。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途