400-6699-117转1000
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参考报价: | 面议 | 型号: | LH-S801 |
品牌: | 量伙 | 产地: | 上海 |
关注度: | 115 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 |
400-6699-117转1000
发布时间:2022年09月
设备规格
1.全自动操作模式;
2.Robot取放片;
3.适应于 6英寸-8英寸 Wafer;
4..冷却方式包括水冷和氮气吹扫;
5.MFC控制,3-5路制程气体;
6.SEMI认证。
工艺应用:
快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
离子注入/接触退火;
高温退火;
高温扩散。
金属合金;
热氧化处理;
应用领域:
化合物半导体(砷化镓、氮化物、碳化硅等);
多晶硅;
太阳能电池片;
MEMS;
功率器件;
IC晶圆;
LED晶圆。
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途