国产全自动光刻机4-12寸可选

全自动接触式光刻机（紫外光刻机）4-12寸可选

技术参数：

1．工作方式：装载机械手将晶圆片从 A 晶圆盒自动装载至预定位工作台，经过定位传感器及自动旋转系统的调节，实现工件的预定位；装载机械手再将完成预定位后的晶圆片装载至对准工作台，经过计算机图像识别及自动对准系统的调节，实现掩模版上图形与晶圆片上的图形的自动对准，也可以不用对位图形完成一次曝光，经过曝光系统的自动曝光后，再由卸载机械手将晶圆片自动放入 B 晶圆盒，直至整个晶圆盒内的晶圆全部完成套刻曝光。

2．曝光面积： 6寸”（可定制）

3．曝光照度不均匀性：≤3%；

4．曝光强度：0～≥50mw/cm2可调；

5．紫外光束角：≤3°（可选 2?或 1°相对曝光照度会变弱）；

6．紫外光中心波长：365nm；（可选汞灯全波段）

7．紫外光源寿命：≥2 万小时；

8．分离量：0～≥1090um 可调；

9．对准精度：≤1μm；

10．曝光方式：硬接触、软接触和接近式曝光；

11. 曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光

12. 定位传感器及自动旋转系统（含预订位工作台）：旋转角度 Q≥±180°旋

转精度 Q≤0.001°；

13．图像识别及自动对准系统（含对准工作台）：对准范围 X.Y≥±5mm，升旋

转角度 Q≥±3°，显微镜整体横向相对移动≥±70mm。

14．掩模版尺寸： 7”x7 “（可定制）

15．晶圆尺寸： 6“（可定制）

16.A.B 晶圆盒移动：Z≥±100mm；

17．装卸载机械手：X≥±100mm，Y≥±100mm,Z≥±20mm；

18.晶圆盒晶圆片数量：根据客户晶圆盒晶圆数量定；

19．版架台移动：X.Y≥±3mm，Z≥±2mm；

20．曝光定时：0～999.9 秒可调；

21. 生产节拍：10 秒+曝光时间；

22．电源：单相 AC220V 50HZ ，功耗≤1KW；

23．洁净空气压力：≥0.4MPa；

24．真空度：-0.07MPa～-0.09MPa；25．尺寸：1200*1000*1500mm ；

26．重量：约 200kg

国产全自动光刻机4-12寸可选信息由上海螣芯电子科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于国产全自动光刻机4-12寸可选报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途