1. 真空腔尺寸：400X400X300长宽高
2. 抽空系统：分子泵450L/s
3. 电弧等离子体源:标配一个，最多3个
4. 沉积气压：真空或者低气压气体（N2， H2，O2，Ar）
5. 靶材：导电材料，外径10mm，长17mm
6. 靶材电阻率：小于0.01欧姆厘米
7. 电容：360uF  X5 （可选）
8. 脉冲速度：1,2,3,4,5 Pulse/s
9. 操作界面：触摸屏
10. 放电电压：70V-400V （1800uF下最大150V）

APD-P 粉末容器：直径95mm 高30mm
形成粉末的速度：13-20cc （随颗粒尺寸和密度变化）
旋转速度：1-50rpm