莎姆克电子束刻蚀, 莎姆克的RIE-200iP是专为研发及半量产目的设计的搬送室型设备。它备有莎姆克的zl龙卷风ICP电极，可产生稳定及高密度的等离子体，并达到高选择比、高精确度和优秀的均匀度。另外，RIE-200iP也具有莎姆克独创的多方排气系统可供应稳定均匀的气体至晶片。