激光超声检测技术光学检测法简介
光学检测法包含了非干涉法以及干涉法。非干涉法中使用到的检测技术包含了光反射技术、光偏转技术以及光衍射技术。干涉法则包含了外差干涉仪以及共焦F—P干涉仪。
2.1 干涉法
干涉法测量主要是借助声波在金属表面传播或者是到达金属表面的时候声波会产生位移，从而导致光束频率以及相位调制实现的。
干涉仪种类大体上可以分成两种类型，第一种是零拍干涉仪，其原理是探测以及参考光束本身不处在同一条光路上，是通过镜面反射的形式返回的，所以这类干涉仪对于被测金属表面有着较高的要求。如果被测金属的表面是镜面，那么这种干涉仪所具备的光学灵敏度是最高的，但是实际的检测过程中，因为外界振动所产生的影响，难以确保干涉仪静态相位差始终保持为零，这会导致干涉仪灵敏度降低，可以利用压电陶瓷掌控参考臂当中的反射镜，通过闭环掌控参考臂长度，保持静态相位差为一个定值。
第二种是外差干涉仪。外差干涉仪能够很好地解决零拍干涉仪抗干扰能力差的弱点。
但是这两种方法都需要金属表明必须是镜面发射。这在一定程度上极大地限制了被检测对象的种类，难以在实际检测当中使用。为了有效避免这种情况的限制，可以使用时延干涉仪、F—P干涉仪等方法，对于物品表面的要求较低。
2.2 非干涉法
非干涉法就是将超声波信号调制到光强信号当中，因此光电检测器能够直接对其检测，通常使用超声到金属的表明或者在金属表面传播的过程中样品表面形状、反射率都会改变，造成了反射光位置以及强度出现变化，借此来实现无损检测。经常使用的方法包括了光衍射技术以及光偏转技术。
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