CNS 13624-1995
砷化镓晶体结晶完整性检验法(熔融氢氧化钾浸蚀法)

Test Methods for Crystallographic Perfection of Gallium Arsenside by Molten Potassium Hydroxide(KOH)Etch Technique


标准号
CNS 13624-1995
发布
1995年
发布单位
台湾地方标准
当前最新
CNS 13624-1995
 
 
适用范围
1.1 本检验法系用来判定砷化镓的晶棒或芯片是否为单晶。如果是单晶,亦可用来测量它的蚀孔密度(EPD, Etch Pit Density)和判断缺陷的本质。1.2 本方法适用于蚀孔密度为0到200,000/c㎡砷化镓单晶。1.3 不管是掺杂或末掺杂及具不同电性之砷化镓晶体均可适用。试样正面的垂直方

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