ASTM F391-02
ASTM F391-02
- 标准号
- ASTM F391-02
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F391-02
- 引用标准
- ASTM C34 ASTM D5127 ASTM F110 ASTM F28 ASTM F533 ASTM F673 ASTM F84 ASTM F95
- 适用范围
- 1.1 这些测试方法涵盖了外在单晶半导体材料样品或沉积在同类型更重掺杂衬底上的已知电阻率同质外延层中少数载流子扩散长度的测量，前提是样品或层的厚度更大大于扩散长度的四倍。
1.2 这些测试方法基于作为入射照明能量（波长）函数的表面光电压（SPV）的测量。描述了以下两种测试方法：
1.2.1 测试方法A——恒定幅度表面光电压（CMSPV）方法。
1.2.2 测试方法B——线性光电压、恒定光子通量（LPVCPF）法。
1.3 两种测试方法都是无损的。
1.4 样品材料、电阻率和载流子寿命的适用范围尚未确定；然而，已经在载流子寿命短至2 ns 的0.1 至50 V·cm n 和p 型硅样品上进行了测量。
1.5 这些测试方法是为用于单晶硅样品而开发的。它们还可用于测量其他半导体样品中的有效扩散长度，例如砷化镓（适当调整照明的波长（能量）范围和样品制备程序）以及多晶硅样品中的平均有效扩散长度。其中晶界垂直于表面。
1.6 这些测试方法也适用于硅片裸露区宽度的测定。
1.7 这些测试方法仅测量室温 (22°C) 下的扩散长度。寿命和扩散长度是温度的函数。
1.8 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。