T/SHDSGY 160-2022
非接触式硅片传输装置技术规范

Technical specification for non-contact silicon wafert ransmission devices

被代替

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标准号

T/SHDSGY 160-2022

发布

2022年

发布单位

中国团体标准

替代标准

T/SHDSGY 160-2023

当前最新

T/SHDSGY 160-2023

 

 

适用范围

本文件规定了非接触式硅片传输装置的术语和定义、技术要求、方案、图纸、性能参数、使用说明书、检验要求、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于非接触式硅片传输装置技术规范。

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