GB/T 32280-2022
硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
Test method for warp and bow of silicon wafers—Automated non-contact scanning method
GBT32280-2022, GB32280-2022
- 标准号
- GB/T 32280-2022
- 别名
- GBT32280-2022, GB32280-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 32280-2022
- 引用标准
- GB/T 14264 GB/T 16596 GB/T 6619 GB/T 6620
- 被代替标准
- GB/T 32280-2015
- 适用范围
- 本文件描述了利用两个探头在硅片表面自动非接触扫描测试硅片的翘曲度和弯曲度的方法。 本文件适用于直径不小于50 mm,厚度不小于100μm 的洁净、干燥的硅片,包括切割、研磨、腐蚀、抛光、外延、刻蚀或其他表面状态的硅片,也可用于砷化镓、碳化硅、蓝宝石等其他半导体晶片翘曲度和弯曲度的测试。
GB/T 32280-2022相似标准
推荐
优尼康UNICORN2022年终感恩回馈 | 多重福利等您领取！
相关应用：粗糙度测量;三维形貌表征;台阶高度测量探针式表面轮廓仪 台阶仪P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。相关应用：表面结构分析；蚀刻深度测量；柔性薄膜；薄膜/厚膜台阶;光阻/光刻胶台阶；薄膜的2D stress量测；表面的3D轮廓成像；缺陷表征和缺陷分析；表面粗糙度/平整度表征；表面曲率和轮廓分析。...
优尼康邀您参与第十七届慕尼黑上海光博会
P7 台阶仪P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。相关应用：薄膜/厚膜台阶；蚀刻深度量测；光阻/光刻胶台阶；柔性薄膜；表面粗糙度/平整度表征；表面曲率和轮廓分析；薄膜的2D stress量测；表面结构分析；表面的3D轮廓成像；缺陷表征和缺陷分析。 ...
2023 SEMICON CHINA即将开展，优尼康邀您相聚上海
P7 台阶仪P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。相关应用：薄膜/厚膜台阶；蚀刻深度量测；光阻/光刻胶台阶；柔性薄膜；表面粗糙度/平整度表征；表面曲率和轮廓分析；薄膜的2D stress量测；表面结构分析；表面的3D轮廓成像；缺陷表征和缺陷分析。 ...
六种自动化在线检测设备 提高轧材几何尺寸质量
推荐理由：小台式测径仪，机身较小，安装于生产现场，进行线径尺寸检测，主要适用于一些环境好的生产现场使用，小台式测径仪为自动化检测设备，CCD光电原理测量，非接触，无磨损，可实现检测外径、超差报警、线径控制、数据传输等功能。外形美观，可对线缆、电缆、橡胶、塑料、输液管等进行橡胶检测。其中双路测径仪可以检测椭圆度尺寸。测量精度最高可达0.003mm。...