GB/T 32280-2015
硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法
Test method for warp of silicon wafers.Automated non-contact scanning method
GBT32280-2015, GB32280-2015
2022-10
- 标准号
- GB/T 32280-2015
- 别名
- GBT32280-2015, GB32280-2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 32280-2022
- 当前最新
- GB/T 32280-2022
- 引用标准
- GB 50073-2013 GB/T 14264 GB/T 29507 GB/T 6620
- 适用范围
- GB/T32280—2015 硅片翘曲度测试自动非接触扫描法本标准规定了硅片翘曲度的丰破坏性、自动非接触扫揽测试方法。 本标准适用于直径不小于50 mm，厚度不小于100 “m 的洁净、干燥的切割、研磨、腐蚀、抛光、刻蚀、外延或其他表面翘曲,也可用于砷化
GB/T 32280-2015相似标准
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