ASTM E2244-11
使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法
Standard Test Method for In-Plane Length Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer
- 标准号
- ASTM E2244-11
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E2244-11e1
- 当前最新
- ASTM E2244-11(2018)
- 面内长度测量用于参数计算，例如残余应变和杨氏模量。特定测试结构需要进行面内偏转测量。包括残余应变在内的参数是根据这些面内偏转测量来计算的。1.1 本测试方法涵盖了测量图案化薄膜的面内长度（包括偏转）的程序。它仅适用于薄膜，例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜，可以使用光学干涉仪对其进行成像。1.2 还有其他方法可以确定面内长度。使用设计尺寸通常比使用光...
ASTM E2244-11相似标准
推荐
迈克尔逊干涉仪工作原理
迈克尔逊干涉仪,是1883年美国物理学家迈克尔逊和莫雷合作，为研究“以太”漂移而设计制造出来的精密光学仪器。它是利用分振幅法产生双光束以实现干涉。通过调整该干涉仪，可以产生等厚干涉条纹，也可以产生等倾干涉条纹。主要用于长度和折射率的测量，若观察到干涉条纹移动一条，便是M2的动臂移动量为λ/2，等效于M1与M2之间的空气膜厚度改变λ/2。...
迈克尔逊干涉仪原理
迈克尔逊干涉仪，是1881年美国物理学家迈克尔逊和莫雷合作，为研究“以太”漂移而设计制造出来的精密光学仪器。它是利用分振幅法产生双光束以实现干涉。通过调整该干涉仪，可以产生等厚干涉条纹，也可以产生等倾干涉条纹。主要用于长度和折射率的测量，若观察到干涉条纹移动一条，便是M2的动臂移动量为λ/2，等效于M1与M2之间的空气膜厚度改变λ/2。...
好货推荐|SM280自动显微薄膜厚度测绘仪
光干涉计量测试技术以波长为计量单位，是一种公认的高精度计量测试技术。许多精密测试工作都是以光干涉的方法来实现的。干涉仪输出的是一幅干涉图，借助数学物理模型可以将干涉图与多种被测参数相联系，从而实现测量相关的物理参数。这就促使了测量薄膜膜厚的仪器--膜厚测量仪的应运而生。基于不同的测量原理，现今发展出的膜厚仪有：光谱测量仪、椭圆偏振光测量仪、在线测量仪、涂层膜厚测试仪等。...
什么是干涉仪
应用于风洞的马赫-秦特干涉仪被用来对气流折射率的变化进行实时观察。 ③波长的测量。任何一个以波长为单位测量标准米尺的方法也就是以标准米尺为单位来测量波长的方法。以国际米为标准，利用干涉仪可精确测定光波波长。法布里-珀罗干涉仪（标准具）曾被用来确定波长的初级标准（镉红谱线波长）和几个次级波长标准，从而通过比较法确定其他光谱线的波长。 ④检验光学元件的质量。...