DIN 32567-5 E:2014-11
微系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸计量影响的测定 第5部分：光学测量设备校正值的推导
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 5: Derivation of correction values for optical measuring devices
DIN 32567-5 E:2014-11 发布历史
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DIN 32567-5 E:2014-11 微系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸计量影响的测定 第5部分：光学测量设备校正值的推导的最新版本是哪一版？
最新版本是 DIN 32567-5:2015-06 。
DIN 32567-5 E:2014-11的历代版本如下：
- 2015年 DIN 32567-5:2015-06 微系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸计量影响的测定 第5部分：光学测量设备校正值的推导
- 2015年 DIN 32567-5:2015 微系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸计量影响的测定 第5部分：光学测量设备校正值的推导
- 1970年 DIN 32567-5 E:2014-11 微系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸计量影响的测定 第5部分：光学测量设备校正值的推导
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